氣體

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特殊氣體是一翻譯自國外之氣體類別,在國內法規上並無此名稱,但在企業界,由於其許多技術或原料均來自國外,故亦沿用此名稱,其所包含之氣體均是一般較不常見,或等級較高之氣體,尤以電子廠使用者居多。標準氣體定義:整體環境空氣品質,用於儀器之校正,如No﹨No2﹨So2﹨H2S﹨NHS﹨O2﹨N2...等成份(含)水之氣體之混合氣體皆屬之。

• 汽機車排放檢測標準氣體 CO+CO2+C3H8/N2
• 焚化爐及煙道分析用標準氣體O2/N2、 NOx/N2
• 化工製程及碳氫類標準氣體
• 各類分析儀及氣相層析儀 GC 及用標準氣體及液體
• 大氣環境監測用標準氣體NO+SO2+CO+CO2/N2+NO
• 工安氣體洩漏偵測器用標準氣體CH4/Air、C3H8/Air、C4H10/Air、H2/Air、CO/N2、CO2/N2、O2/N2、NH3/N2、H2S/N2、1,3 BD/Air

 
成份氣體 平衡體 瓶頭
No N2 CGA660
No2 N2 CGA660
No2 AIR CGA660
Co N2 CGA350
Co AIR CGA590
SO2 N2 CGA660
SO2 AIR CGA660
SO2 AIR N2CGA350R
CH4 N2 AIR  CGA590
CH4 AIR AIR  CGA590
C3H8 N2 AIR  CGA590
CH4 + C3H8 N2 CGA660
NH3 AIR CGA660
 
• 惰性氣體:He 、SF6 、CO2 、CF4 、C2 F6 、C4 F8 、CH3F
• 易燃性氣體:SiH4 、B2 H6 、PH3 、SiH2 Cl2 、NH3 、CH4 、CO
• 腐蝕性氣體:Cl2 、F2 、HCl 、HBr 、WF6 、NH3 、 NF3 、BCl3 、SiF4 、AsH3 、ClF3 、N2 O 、SiCl4、AsCl3 、BF3
【以上只是概略的分法,實際上有些氣體是兼具燃燒性 及腐蝕性的。除了是屬於惰性氣體之外,幾乎都是毒 性氣體。而像SiH4、B2H6、PH3這些則屬於自燃性氣體 (Pyropholic),即使是在很低的濃度下,一接觸到大氣,立刻會產生燃燒現象。】
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