技術支援
特殊氣體是一翻譯自國外之氣體類別，在國內法規上並無此名稱，但在企業界，由於其許多技術或原料均來自國外，故亦沿用此名稱，其所包含之氣體均是一般較不常見，或等級較高之氣體，尤以電子廠使用者居多。標準氣體定義：整體環境空氣品質，用於儀器之校正，如氬、No﹨No2﹨So2﹨H2S﹨NHS﹨O2﹨N2...等成份(含)水之氣體之混合氣體皆屬之。• 汽機車排放檢測標準氣體 CO+CO2+C3H8/N2
• 焚化爐及煙道分析用標準氣體O2/N2、 NOx/N2
• 化工製程及碳氫類標準氣體
• 各類分析儀及氣相層析儀 GC 及用標準氣體及液體
• 大氣環境監測用標準氣體NO+SO2+CO+CO2/N2+NO
• 工安氣體洩漏偵測器用標準氣體CH4/Air、C3H8/Air、C4H10/Air、H2/Air、CO/N2、CO2/N2、O2/N2、NH3/N2、H2S/N2、1,3 BD/Air
| 成份氣體 | 平衡體 | 瓶頭 |
| No | N2 | CGA660 |
| No2 | N2 | CGA660 |
| No2 | AIR | CGA660 |
| Co | N2 | CGA350 |
| Co | AIR | CGA590 |
| SO2 | N2 | CGA660 |
| SO2 | AIR | CGA660 |
| SO2 | AIR | N2CGA350R |
| CH4 | N2 | AIR CGA590 |
| CH4 | AIR | AIR CGA590 |
| C3H8 | N2 | AIR CGA590 |
| CH4 + C3H8 | N2 | CGA660 |
| NH3 | AIR | CGA660 |
• 易燃性氣體：SiH4 、B2 H6 、PH3 、SiH2 Cl2 、NH3 、CH4 、CO
• 腐蝕性氣體：Cl2 、F2 、HCl 、HBr 、WF6 、NH3 、 NF3 、氬、BCl3 、SiF4 、AsH3 、ClF3 、SiCl4、AsCl3 、BF3
【以上只是概略的分法，實際上有些氣體是兼具燃燒性 及腐蝕性的。除了是屬於惰性氣體之外，幾乎都是毒 性氣體。而像SiH4、B2H6、PH3這些則屬於自燃性氣體 (Pyropholic)，即使是在很低的濃度下，一接觸到大氣，立刻會產生燃燒現象。】
